Vakuumkomponenter

Varmebehandling omfatter hovedsakelig oksidasjons-, diffusjons- og utglødningsprosesser.Oksidasjon er en additiv prosess der silisiumskiver plasseres i en høytemperaturovn og oksygen tilsettes for å reagere med dem for å danne silisiumdioksyd på overflaten av skiven.Diffusjon er å flytte stoffer fra området med høy konsentrasjon til området med lav konsentrasjon gjennom molekylær termisk bevegelse, og diffusjonsprosessen kan brukes til å dope spesifikke dopingstoffer i silisiumsubstratet, og dermed endre ledningsevnen til halvledere.